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布魯克斯5850EMH系列質(zhì)量流量控制器?
上海全新到貨采購(gòu)就找上海維特銳，公司03年成立，與日本、德國(guó)、美國(guó)、意大利等國(guó)外氣動(dòng)液壓品牌常年合作，為全國(guó)30個(gè)行業(yè)的10000多客戶提供專業(yè)銷售，在行業(yè)內(nèi)有著口碑和影響力，公司承諾所供產(chǎn)品，假一罰十，質(zhì)保12個(gè)月，全國(guó)訂貨包郵，票可隨貨一起
可滿足高溫苛刻條件應(yīng)用需求的高純度流路
現(xiàn)今許多高級(jí)電子元器件的加工工藝都需要能夠?qū)Π嘿F的超純氣體和液態(tài)前體進(jìn)行相當(dāng)準(zhǔn)確并且具有高度可重現(xiàn)性的測(cè)定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的高溫金屬封裝熱質(zhì)量流量控制器和儀表來(lái)滿足上述需求。該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性超高的測(cè)量傳感器與快速、精準(zhǔn)的控制閥以及功能強(qiáng)大的電子元件相結(jié)合共同實(shí)現(xiàn)了精準(zhǔn)的化學(xué)品控制。高完整性（無(wú)泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過(guò)程化學(xué)品純度，該流路專為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過(guò)程媒介而設(shè)計(jì)。
應(yīng)用
光纖制造 - MCVD
硅材料半導(dǎo)體器件加工工藝
CVD（蒸汽形式的前體輸送）
剝落（水蒸氣）
腐蝕（水蒸氣鈍化）
參數(shù)
流體類型 氣體 , 水汽
流量范圍 滿量程容量3 sccm - 10 slm
精度 SP ±1%
最大壓力 145 psig
溫度 150℃
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